平台简介

微纳制造与检测平台旨在面向大湾区在半导体、微纳光学、光电子学、MEMS传感器、微纳生物医疗器械、仿生材料等产业领域布局，通过2-3年持续建设，打造一条全国产化6英寸微纳制造与检测的中试线，服务上述产业相关的前沿科技研发及产学研合作研究。

平台目前已购置大幅面激光直写、接触式光刻机、深硅刻蚀、介质刻蚀、高精度3D打印、纳米压印、原子层沉积、离子束溅射镀膜、热蒸发、激光切割、精密电镀等微纳加工设备及扫描电镜、激光共聚焦表面形貌仪、傅里叶红外光谱仪、椭圆偏振仪、探针台等微纳测量设备，其中部分设备已正式投入使用并对外服务，支撑了微纳光学、MEMS传感器、微纳生物医疗器械等团队的科研，并已为河南中光学集团有限公司、深圳市吉祥云科技有限公司、深圳载愈生物科技有限公司的产品开发提供了技术委托服务。

该平台具备晶圆级器件的加工与服务能力，可承载前沿交叉学科创新研究和个性定制服务技术开发，为初创企业提供工艺开发及概念验证服务，让初创企业轻资产运营。欢迎有需求的企业、科研院所、高校来院洽谈合作。