1．曝光类型：单面对准单面曝光；
2．曝光面积：160×160mm；
3．曝光照度不均匀性：≤1%；
4．曝光强度：≥30mw/cm2可调；
5．紫外光束角：≤2°
6．紫外光中心波长：365±5nm
7．紫外光源寿命：≥2万小时；
8．曝光分辨率：≥1μm；
9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；
10．显微镜扫描范围：X：±30mm Y：±30mm；
11．对准范围：X、Y±6.5mm，最小调节刻度0.02mm；微调范围±3°，最小定位精度5分；
12．对准精度：＜1μm
13．分离间隙；0～2mmm可调；
14．接触－分离漂移：≤1μm；
15．曝光方式：可实现硬接触、接近式曝光；
16．找平方式：三点式自动找平；
17．掩模版尺寸： 7*7″，厚度≤5mm；
18．基片尺寸：4″（圆形、方型皆可）；
19．基片厚度：≤5 mm；
20．曝光定时：0～999.9秒可调；
21．曝光头移动：手动切换曝光位置；
22．显微系统：CCD显微镜（60X-300X）+19英寸显示屏
23．电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1000W；
24．真空压力：≥-0.2MPa；
25．尺寸：650mm（长）×1100mm（宽）×950mm（高）；
26．重量：约80Kg。
