环境要求:220V,50Hz,1kW,无需减震台
加速电压:1kV~15kV连续可调,1kV步进
电子枪:预对中钨灯丝,一体式聚光镜,无需手动调节物镜光阑(LaB6灯丝可选)
放大倍数:150000倍
探测器:二次电子探测器、可推出式背散射探测器、集成式能谱仪
样品台:XY电动样品台(五轴可选)、移动行程:30mmx30mm
最大样品尺寸:φ50x35(H)mm
高真空模式:全自动控制,抽真空时间小于2分钟
成像模式:视频模式:512x512像素,无需小窗口扫描
快速模式:扫描时间小于3秒,512x512像素
慢扫模式:扫描时间小于40秒,2048x2048像素
图像格式:BMP,TIFF,JPEG,PNG
导航功能:光学CCD导航(非电子图像导航)
自动功能:一键自动配置亮度、对比度、聚焦
整机尺寸:主机:283*553*505(mm)
机械泵:340*160*140(mm)
拓展功能:兼容泽攸科技多种原位功能样品