设备名称： 光谱椭偏仪
设备型号： 颐光科技，SE-VE-L
采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)，可支持扩展紫外到近红外范围 (193-2500nm)
高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集
应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
