设备名称： 金属蒸发镀膜设备
设备型号： MiweiDZ300
极限真空度1x10-5pa;抽真空时间：连续40分钟内小于1x10-4pa；
蒸发电极：三套；样品架数量：水冷架1个
用于金属及金属氧化物的图案化
