功能及指标参数-湖南大学粤港澳大湾区创新研究院

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2024/11

功能及参数指标

1.整体性能指标1.1该设备用于纳米压印工艺过程，可实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和纳米压印功能1.2可实现150mm、100mm、2英寸晶圆的压印工艺。1.3手动上下料，在设备内可实现工作模具自动复制，自动纳米压印及脱模，压印结构完整。1.4母版材质可为硅片，石英，玻璃，金属或者聚合物，尺寸兼容150mm、100mm、2英寸圆形模具，厚度范围0.1mm-5mm2.工艺指标2.1压印精度可达50纳米以下2.2结构深宽比可达7.5:1以上2.3压印...

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