一、团队简介

微纳制造与微系统技术团队由我院段辉高教授领衔，目前拥有老师8人，其中国家级青年人才2名，省部级人才6名。

团队围绕微纳制造装备与工艺、微纳光学设计与制造、MEMS传感器及应用等方向，正在承担国家重点研发计划、国家自然基金、成果转化及产学研合作等各类项目20余项，科研经费充足。

团队与美国麻省理工学院、德国斯图加特大学、英国南安普顿大学、新加坡国立大学、新加坡科技设计大学、韩国科学技术院（KAIST）等研究机构有长期的合作关系，建设有省级“微纳光学先进设计制造国际联合研究中心”。

团队以电子束、离子束及光子束为主要工具，工艺能力贯穿“光刻、镀膜、刻蚀、封装”等整个半导体制造流程，并在“微光学、微传感、微能源”等高性能器件及装备应用方面积累了丰富的研究经验。依托湖南大学粤港澳大湾区创新研究院，目前正在打造一条6英寸微纳制造与检测的中试线，已购置电子束光刻机、大幅面激光直写、接触式光刻机、深硅刻蚀、介质刻蚀、高精度3D打印、纳米压印、原子层沉积、离子束溅射镀膜与刻蚀等微纳加工设备及扫描电镜、激光共聚焦表面形貌仪、超连续激光、共聚焦拉曼等各类测量设备。团队所有全职科研人员经培训后可自由使用上述设备，相关费用支出由团队项目经费保障。

团队代表性成果

二、团队负责人简介

段辉高教授，现任湖南大学机械与运载工程学院教授，湖南大学粤港澳大湾区创新研究院院长，国家高效磨削工程技术研究中心副主任，长期从事微纳制造及微纳光学相关研究。先后在Nature Nanotechnology、Nature Energy、Nature Electronics、National Science Review、Light: Science & Applications、Engineering、《极端制造》等期刊发表论文240篇，H指数62。现担任《极端制造》国际期刊的共主编，中国科协旗舰期刊 Research（Science 合作期刊）、IEEE Transactions on Nanotechnology、Microelectronic Engineering、《光学 精密工程》等多本国内外知名期刊的编委或副主编。