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冯波
时间: 2025-03-03

粤港澳大湾区创新研究院副研究员、3D集成工艺与器件实验室负责人,湖南大学机械与运载工程学院助理教授;前华为技术有限公司高级工程师。主要研究方向:(1)集成电路先进器件结构(环栅GAA)、制造技术(nanoTSV互连)及TCAD建模仿真;(2)电子束光刻(EBL)及3D异质集成工艺技术;(3)硅基EUV光电二极管/APD/SPAD及InGaAs探测器等。近年来,在Nano Letters, International Journal of Extreme Manufacturing, ACS Nano等期刊上发表SCI论文10余篇,申请并授权国家发明专利6项。


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